北京凯芯新材料科技获得一种基座专利削减因为内应力拉伸使得基座本体外表呈现决裂的或许

  金融界2024年11月23日音讯，国家知识产权局信息数据显现，北京凯芯新材料科技有限公司获得一项名为“一种基座”的专利，授权公告号 CN 222029053 U，请求日期为2024年3月。

  专利摘要显现，本请求触及半导体制造的技术领域，供给了一种基座，其包含基座本体，所述基座本体的上外表绕本身轴线开设有环形凹槽，所述基座本体的上外表开设有连通于环形凹槽的定位卡槽。本请求经过设置的环形凹槽，对经过保温桶热传导到基座本体上的热量所引起的内应力，在环形凹槽内进行开释，削减因为内应力拉伸，以使得基座本体靠近于保温桶的外表呈现决裂的或许，以延伸该基座本体的惯例运用的寿数；以及经过设置的定位卡槽，以使得保温桶和基座同轴滚动，从而以对放置在保温桶上的多个半导体衬底同轴滚动的有利作用。

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